SEM納米探針臺(tái)產(chǎn)品實(shí)現(xiàn)了三維空間上的準(zhǔn)確定位， 它具有分辨率高，尺寸緊湊，行程大，操作簡(jiǎn)單，能在真空下使用等優(yōu)點(diǎn)，可應(yīng)于SEM真空腔體內(nèi)完成各種納米精度運(yùn)動(dòng)操作。

SEM納米探針臺(tái)產(chǎn)品使用壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)，運(yùn)無(wú)需潤(rùn)滑，百分真空兼容，并可在很廣的溫度范圍內(nèi)工作。運(yùn)動(dòng)分辨率達(dá)到納米級(jí)。步進(jìn)和掃描雙模式工作，在宏觀行程范圍內(nèi)達(dá)到亞納米分辨率的定位。

三軸探針臺(tái)由三個(gè)單軸運(yùn)動(dòng)臺(tái)組合而成。一SEM腔體內(nèi)可安裝多個(gè)三軸探針臺(tái)。平上可安裝電學(xué)探針、光纖探針、納米鑷子、金剛石納米力壓頭、顯微注射器等各類操縱和測(cè)量頭，實(shí)現(xiàn)微納操縱和測(cè)量的目的。

• 主要參數(shù)

▲ 兼容性：適配多種鎢燈絲、場(chǎng)發(fā)射SEM，保證電鏡安全性

▲ 探針驅(qū)動(dòng)方式：PZT壓電陶瓷

▲ XYZ行程：XY軸行程≥±10mm，Z軸行程≥10mm

▲ 細(xì)調(diào)行程：3um

▲ 細(xì)調(diào)最小步長(zhǎng)：≤1nm

▲ 控制模式：開環(huán)/閉環(huán)

▲ 探針數(shù)量：最多支持8探針

▲ 制冷系統(tǒng)（選配功能）：熱臺(tái)200℃；冷臺(tái)-60℃（TEC）；冷臺(tái)-170℃（液氮）

• 主要配置

壓電探針臺(tái)、壓電三軸位移控制器、PC+軟件（閉環(huán)選配）、壓電冷臺(tái)（選配）、手提箱、源表（選配）、制冷系統(tǒng)（選配）、定制適配電鏡法蘭、工具附件等

• 產(chǎn)品特點(diǎn)

▲ 結(jié)構(gòu)緊湊，高剛性

▲ 零間隙，高精度柔性鉸鏈導(dǎo)向系統(tǒng) 

▲ 壓電陶瓷位移平臺(tái)具有超長(zhǎng)使用壽命

▲ 內(nèi)部根據(jù)需求可增加位置反饋 

▲ 應(yīng)用：納米材料操縱、納米器件電學(xué)光電等物性測(cè)量、生物細(xì)胞DNA操作等

▲ 適配SEM：日本電子、 日立、FEI、 TESCAN等

• 應(yīng)用案例

電容樣品測(cè)試

電容樣品測(cè)試

碳纖維測(cè)試

器件測(cè)試

薄層材料測(cè)試